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高纯氮气

高纯氮气

  • 所属分类:高纯气体
  • 浏览次数:
  • 发布日期:2023-03-30 11:27:59

高纯氮

气纯化方法主要有吸附法、变压吸附法、膜分离法等。在生产中,通常采用黑色钢瓶盛放氮气。


基本信息

中文名称:高纯氮

外文名称:High purity nitrogen

化学式: N2

纯度:≥99.999% —99.9999%


物理性质

high purity nitrogen

分子式:N2

性质:纯度大于99.999%。无色无臭无味无毒的惰性气体。

相对密度:ds(21.1℃,空气=1)0.967

气体密度:1.153kg/m3(21.1℃,101.3kPa

液体密度:808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。

相对分子质量:28.013

熔点:63.15K,-210℃,-346oF

沸点:195.60℃

临界温度:126.1K,-147.05℃,-232.69oF

临界压力:3.4MPa,33.94bar,33.5atm,492.26psia

临界体积:90.1cm3/mol

临界密度:0.3109g/cm3


用途

在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统必须先用高纯氮置换,再用高纯氦置换。


消防应急措施与防护

迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器。不要直接接触泄漏物。尽可能切断泄漏源。防止气体在低凹处积聚,遇点火源着火爆炸。用排风机将漏出气送至空旷处。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。用雾状水保持火场中容器冷却。可用雾状水喷淋加速液氮蒸发,但不可使用水枪射至液氮。如吸入高纯氮,感到呼吸困难,给输氧。如呼吸停止,立即进行人工呼吸。就医。


安全信息

· 危险类别:2.2

· 海关编码:2804300000

· 危险品运输编码:UN10662.2

· WGKGermany:-

· 安全说明:S38

· RTECS号:QW9700000


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